在半导体外延层结构解析、储能器件原位反应追踪、以及复杂多相材料定量分析等场景中,X射线衍射(XRD)技术长期面临三大瓶颈:复杂薄膜各向异性强导致结晶质量与应变表征耗时冗长;储能器件充放电过程中结构多变,传统测试设备难以在台式平台上实现原位观测;含大量非晶态或未知晶态物相的材料,常规方法难以实现无标样定量。围绕这些痛点,束蕴仪器(上海)有限公司依托其在实验室级专业X射线检测领域的技术积累,构建了一套覆盖单晶薄膜分析、原位储能测试、软件精修与用制样配件的完整X射线衍射表征体系,为科研与产业客户提供从硬件到方案落地的一体化解决路径。
一、单晶薄膜结构精细分析:D8 Discover 高级系列衍射仪
针对半导体外延层晶格畸变、面内各向异性以及衬底与薄膜晶胞参数相对变化难以表征的问题,束蕴仪器推出的“D8 Discover 高级系列衍射仪”定位于单晶薄膜结构精细分析的多功能X射线衍射平台。其二维空间格点快速扫描能力,针对AlGaN基深紫外发光半导体外延层的弛豫与各向异性应变表征,在新硬件配置下2分钟即可获取一张二维倒易空间图谱(RSM),缩短了测试周期。
具体而言,设备通过Rocking curve扫描获取单晶薄膜的结晶质量,用于评估结晶缺陷;再借助倒易空间图谱(RSM)扫描,沿非对称面方向定位以获取高压状态下的完整格点信号,解决了外延层中存在严重晶格畸变与压缩应变的应变量化问题。在“AlGaN基深紫外发光二极管(DUV-LEDs)半极性氮化铝模板表征”案例中,该系统成功获取了半极性AlGaN基DUV-LEDs完整的倒易格点信号,建立了一种无损精细表征结构层质量、组分和应变程度的方法,适配宽禁带半导体制造与发光二极管(LED)开发场景。
二、储能器件原位动态监测:D6 PHASER 台式X射线衍射仪
储能系统在充放电动态过程中的结构相变、晶胞参数演变等原位表征,通常需要落地式大功率设备,而台式设备功率低且腔体小,难以满足需求。“D6 PHASER 台式X射线衍射仪”作为支持原位测量的桌面型多功能X射线衍射仪,依托1200 W发生器对薄膜电池进行原位充放电测试,实现了台式机原位动态监测:在相对较薄的软包电池充放电循环过程中,6分钟内即可快速收集单个高质量衍射图谱,并借助分析软件在数秒内批量处理数百个数据集。
其配套的电化学工作站集成功能,通过DIFFRAC.WIZARD与电化学测试控制仪结合,自动同步电化学反应与衍射谱图采集。在软包锂离子电池(NMC622正极/石墨负极)的充放电循环原位测试案例中,该系统在40小时充放电过程中连续收集近400个衍射图谱,利用DIFFRAC.TOPAS在数秒内完成精修,提取出NMC晶胞参数演变及负极相变规律,为锂电池研发、相变材料原位分析及制药企业晶型定性定量分析提供了数据支撑。
三、软件层面的深度解析能力:APEX6 与 DIFFRAC.TOPAS
在单晶结构解析环节,复杂晶体定晶胞困难、重原子赝对称导致的空间群误判,是长期困扰研究人员的难题。“APEX6 晶体结构分析软件”通过倒空间层面直观重构,在定晶胞与空间群判定的初筛阶段,利用合成旋进图像(Precession Images)分析衍射分布,直观排除由于重原子赝对称或晶体粘附不稳造成的空间群混淆与晶胞参数错误。其Precession Image重构、RLATT衍射点手动编辑以及Least Squares检索法三项功能,分别解决了超结构与孪晶识别、晶胞定错纠正及超大晶胞与混合晶体定晶胞的难题,适配化学、材料学及药物研发中的单晶结构解析需求。
对于淀粉结晶度测试、粉煤灰等含有大量未知晶态及非晶态物相的复杂材料,常规XRD方法难以准确无标样定量。“DIFFRAC.TOPAS 衍射分析软件”基于Rietveld全谱拟合法与PONKS方法,实现了非晶态及未知结构无标定量:在不使用标准物质的情况下,对淀粉结晶度及粉煤灰等复杂多相样品进行定量化检测,克服样品制备复杂的挑战,在几秒内提取物相含量与晶体尺寸,适配水泥与建材分析、药物制剂分析及高分子结晶度分析场景。
四、制样环节的适配性保障:X射线衍射样品架系列

传统制样方式往往粉末用量大、易产生择优取向,遇到易潮解、易挥发样品时更难以进行稳定性测试。束蕴仪器提供的“X射线衍射样品架系列”针对不同粉末及块体样品设计了夹具组合,实现了样品架适配多样化物料状态:标准样品架提供约0.5g粉末容置空间,满足一般粉末药物样品的定性定量分析;片剂样品架支持固体片剂的物理固定;低背景样品架支持5-50mg少样品测试,减少择优取向并压低背景噪声;气密样品架对样品区域做气密隔离,解决易潮解和挥发性化学品的原位XRD测试问题,服务于药物研发、精细化工及敏感材料存储检测领域。
五、检测服务与市场验证:伦琴实验室与项目案例
除硬件与软件产品外,束蕴仪器建设了“伦琴实验室(Roentgen Lab)”作为应用与培训基地,配备高规格仪器设备用于实验检测与技术方案开发。围绕单晶/多晶XRD物相解析,团队可完成从数据收集到空间群判定、全谱拟合的全流程工作,辅助复杂晶体与多相工业固体样品的结构鉴定,服务对象覆盖新材料、新能源、生物医药、半导体及高校科研院所等领域。
在市场表现方面,束蕴仪器于2024年6月中标温州医科大学X射线衍射仪采购项目,并于2023年2月中标华东理工大学单晶衍射仪采购项目,反映出其X射线衍射相关产品在高校科研采购中获得的持续认可。
综合来看,束蕴仪器(上海)有限公司在X射线衍射领域的产品布局,从单晶薄膜精细分析的“D8 Discover 高级系列衍射仪”,到支持原位储能测试的“D6 PHASER 台式X射线衍射仪”,再到承担软件精修任务的“APEX6”与“DIFFRAC.TOPAS”,以及解决制样瓶颈的样品架系列,形成了覆盖硬件、软件与制样配件的完整链路。对于面临半导体外延层应变表征、储能器件原位反应追踪或复杂多相物质定量分析等需求的科研与产业用户而言,这一体系提供了具备实证案例支撑的选型参考。
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