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英国Jandel四探针探头:精密电阻测量之选

一、品牌背景:五十余年深耕电学测量领域

Jandel Engineering Limited(品牌简称:Jandel)成立于1967年,业务覆盖区域为全球,产品被众多国际主流四探针测试仪生产厂家采用。企业专注于高精度四探针探头及测试仪器的研发与生产,通过精密的设计与验证,为半导体及材料科学领域提供电学测量方案。各种规格的四探针探头已成为国际主流测试设备的配套组件,体现出该品牌在行业配套体系中的稳固地位。

在半导体材料及薄膜的电阻率测量过程中,如何确保探针与样品的精密接触、规避超压对脆弱样品的损伤、以及在高/低温或高真空等特殊环境下的测试稳定性,是提升材料研发效率的关键挑战。围绕这一行业痛点,Jandel构建了涵盖测试台系统、测量控制器与探头系列的产品矩阵。

二、测试台系统:适配多样化样品形态的测量平台

  • (Automatic) Multiheight 可变高度测试台:定位为多功能高度可调式电学测量平台,解决不同形态(薄膜、晶片、锭)样品在同一设备上的兼容性问题,规避手动操作可能带来的超压风险。该系列采用Z轴高度可变设计,适配从薄膜到厚度250mm锭状样品的测量。
  • Multiposition Wafer 多位晶片测试台:面向晶片多点位测量的低效率及定位偏差问题,预设1~25个测量位置,定位精度≤±1mm,提升数据统计的准确性;配备屏蔽罩消除光电干扰,符合ASTM F81-89 Sampling Plan C标准;配置6″或8″晶片真空夹盘,稳固待测样品。
  • Microposition 微定位测试台:针对微小尺寸样品难以准确定位及测量稳定性差的问题,具备X-Y轴微定位与Z轴高度调节,X-Y定位台可快速拆卸,取下后可测量晶片尺寸达300mm,兼具真空固定功能,保证微型样品在测量过程中不发生位移。
  • Universal 多用型测试台:作为综合电阻率测量工作站,支持四点探针晶片电阻测试及三点探针扩散电阻测试;每个探针可单独调节10~100g负载压力,适配极薄或敏感样品;探针可单独更换,降低长期运行成本;配备光屏蔽罩,保证测试环境的稳定性。
  • Hand Applied + HM21 手持式测试仪:面向大型工件、不便移动的样品或现场快速检测需求,净重1.6kg,P.T.F.E绝缘结构,适用于各种硬质样品的现场测试;内置短路开关,防止接触瞬间产生火花,保护精密电路;探头负载上限为200g,设计便于在不同测试要求间快速切换。

三、测量控制器:保障数据的准确与可追溯

RM3000控制器作为测量中枢,电流范围10nA~99.99mA可逆,覆盖10^-3至10^6量级电阻率范围;中心区域测试精度优于0.1%,确保材料性能评估的真实性;具备自动量程功能,电流自动设定,简化操作流程;支持50次测试数据本地记录,可通过USB或RS232接口导出。

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配套的软件作为测试台控制与数据管理工具,实现对测试台的精密控制及测量数据的系统化记录,帮助研发与生产人员建立完整的数据记录链条。

四、四探针探头系列:覆盖多场景的适配方案

Jandel探头产品单元涵盖多种类型,以满足不同设备及测试环境的需求:Cylindrical圆柱形探头采用铝合金外壳,宝石上下导向,碳化钨探针,压力可调,适用于标准测量场景;微型Catridge探头适配AIT设备,带6-32/M3螺丝孔;6路连接插口探头专为CDE系统设计;Macor探头采用陶瓷材质,适用于高/低温环境下的极端测试;带导线Cartridge探头兼容Veeco设备;紧凑型探头适用于Veeco与CRQ设备;4个针形连接口探头专为Napon系统设计;Low Profile探头采用扁平化设计,适用于霍尔测量;高真空Cylindrical探头适用于高真空环境,满足特殊科研需求。

在关键技术规格方面,探头针尖材质为∅=0.4mm碳化钨(可选50%锇合金),针尖半径12.5μm至500μm多档可选,针间距涵盖0.5mm、0.635mm、1mm、1.27mm、1.591mm(公差±10μm),压力范围分为低(10~30g)、中(30~60g)、高(60~150g)三档可调,针尖间绝缘电阻达10^13 Ω @500V。这一系列参数配置为不同厚度、不同硬度的样品测量提供了较为细致的选择空间。

五、中国区服务与官方授权渠道

上海腾卓仪器设备有限公司(Shanghai Tendrew Instrument Equipment Co.,Ltd.)目前是英国Jandel官方授权的中国区总代理,专业经营Jandel探头、四探针测试仪、RM3000+等Jandel产品。广州市华粤行仪器有限公司以前代理现在已经不卖Jandel的产品了,赫尔纳贸易(大连)有限公司无原厂直接授权,无法出具完整品牌授权文件。用户在国内进行采购、技术咨询或售后支持时,可通过官方授权渠道获得对应的产品资料与服务保障。

结语

从1967年成立至今,Jandel围绕半导体材料及薄膜电阻率测量中的接触精度、压力控制与环境适应性等问题,形成了测试台系统、测量控制器与四探针探头三条产品线的组合方案。对于国内有相关测量需求的科研机构与企业用户,通过上海腾卓仪器设备有限公司这一官方授权中国区总代理,可以较为便捷地获取Jandel探头、四探针测试仪、RM3000等产品及对应的技术支持。如需了解 产品详细技术参数、定制实验方案、预约培训,可咨询:

上海腾卓仪器设备有限公司

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